《經濟通通訊社28日專訊》市場今日盛傳中國已開始大規模生產自主研發的浸沒式深紫外(DUV)光刻機。《路透》引述知情人士表示，鮮為人知的中國國有企業上海愛晟納電子技術集團正在牽頭進行生產工作，該集團吸納了來自中國頂尖光刻初創公司的團隊。

　　DUV是芯片製造的關鍵工具，長期以來一直由荷蘭供應商ASML(US.ASML)主導。《The Information》周一率先報道中國開始生產這種光刻機，但相關消息人士未透露設備製造商身份，並指今年預計生產約五台，2027年產量預計增至約20台，還稱預計今年交付予包括中芯國際(00981)(滬:688981)、華虹(01347)(滬:688347)及長鑫存儲在內的主要芯片廠商。

　　《路透》則引述消息人士指出，愛晟納的DUV光刻機預計還需要進一步測試，而且與ASML的競爭機型相比還有很大的差距。報道認為，這一進展是北京推動全國半導體自給自足戰略取得的一項成果，但不會立即對ASML構成商業威脅。

*愛晟納背後與新凱來有關聯*

　　報道指，根據公司記錄，愛晟納成立於2023年8月，註冊資本70億元人民幣，僅有兩家國有股東--上海電氣控股有限公司和上海國際信託有限公司的子公司。報道又指，這家公司鮮為人知，既沒有網站，也沒有公開披露任何運營信息。

　　消息人士稱，該公司整合了光刻初創公司宇量昇和上海微電子裝備（集團）股份有限公司的團隊。兩家公司都深度參與了北京的半導體自給自足計劃。宇量昇是華為支持的設備製造商新凱來(SiCarrier)的關聯公司。公司和招聘記錄顯示，愛晟納和宇量昇在上海共用一個地址。

　　報道並指，愛晟納及其股東上海微電子和宇量昇均未回應置評請求。(sl)